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联盟团体标准发布公告（一）

联盟团体标准发布公告（一）

来源：

ICMtia

2019/04/22

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根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求，经联盟标准委员会审议通过，现批准发布如下2项团体标准：

T/ICMTIA 1-2019《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》

T/ICMTIA 2-2019《集成电路用过氧化氢》

以上标准于2019年4月17日发布，并于2019年10月10日开始实施，特此公告。

附1：《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》目录

附2：《集成电路用过氧化氢》目录

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团体标准立项公告

关于召开ICMtia—PALL联合技术讲座的通知

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